La sistemoj de malvarmigo de likva nitrogeno estas vaste uzataj en la industrio de duonkonduktaĵoj kaj blatoj, inkluzive de la procezo de,
- La teknologio de Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- La provo de la blato post COB-pakaĵo
Rilataj Produktoj
Vacuum Insulated Pipe Series
Malplena Izolita Fleksebla Hose Series
Dinamika Vakua Pumpila Sistemo
Vacuum Insulated Phase Separator Serio
Vakuo Izolita Valvo Serio
Piping System Support Equipment
MOLEKULA RASKO EPITAKSIO
La teknologio de Molecular Beam Epitaxy (MBE) estis evoluigita en la 1950-aj jaroj por prepari duonkonduktajn maldikfilmajn materialojn uzante vakuan vaporiĝteknologion. Kun la evoluo de ultra-alta vakua teknologio, la apliko de teknologio etendiĝis al la kampo de duonkonduktaĵo-scienco.
HL rimarkis la postulon de MBE-likva nitrogena malvarmiga sistemo, organizita teknika spino por sukcese evoluigi specialan MBE-likvan nitrogenan kui-sistemon por MBE-teknologio kaj kompletan aron de vakuoizolita tubsistemo, kiu estis uzata en multaj entreprenoj, universitatoj kaj esplorinstitutoj. .
La oftaj problemoj de la semikonduktaĵo & blatindustrio inkludas,
- La Premo de Likva Nitrogeno en Terminalon (MBE) Ekipaĵon. Malhelpi Preman Troŝarĝon de Difektado de Terminalo (MBE) Ekipaĵo.
- Multoblaj Kriogenaj Likvaj Kontroloj de Enirejo kaj Elirejo
- La Temperaturo de Likva Nitrogeno en Terminalan Ekipaĵon
- Racia Kvanto de Kriogenaj Gasaj Emisioj
- (Aŭtomata) Ŝanĝo de Ĉefaj kaj Branĉlinioj
- Alĝustigo de Premo (Redukto) kaj Stabileco de VIP
- Purigante la Eblajn Malpuraĵojn kaj Glaci-Restaĵon el Tanko
- Pleniga Tempo de la Fina Likva Ekipaĵo
- Dukto Antaŭmalvarmigo
- Likva Rezisto en VIP-Sistemo
- Kontrolu Perdon de Likva Nitrogeno Dum Malkontinua Servo de la Sistemo
La Vacuum Insulated Pipe (VIP) de HL estas konstruita laŭ ASME B31.3 Pressure Piping-kodo kiel normo. Inĝenieristiko sperto kaj kvalitkontrolo kapablo certigi la efikecon kaj kostefikecon de la kliento planto.
SOLVOJ
HL Cryogenic Equipment provizas klientojn per la Vakuo-Izolita Pipa Sistemo por plenumi la postulojn kaj kondiĉojn de la industrio de duonkonduktaĵoj kaj blatoj:
1.Kvalita Administra Sistemo: ASME B31.3 Prema Piping Kodo.
2.A Speciala Faza Apartigilo kun Multobla Kriogena Likva Enirejo kaj Elirejo kun aŭtomata kontrolo-funkcio plenumas la postulon de gasa emisio, reciklita likva nitrogeno kaj temperaturo de likva nitrogeno.
3.Adekvata kaj ĝustatempa ellasiga dezajno certigas, ke fina ekipaĵo ĉiam funkcias ene de la desegnita prema valoro.
4.La Gas-likva Baro estas metita en la vertikala VI-tubo ĉe la fino de VI-dukto. Gas-likva Baro uzas la gasan sigelprincipon por bloki la varmegon de la fino de la VI-dukto en la VI-Piping, kaj efike redukti la perdon de likva nitrogeno dum malkontinua kaj intermita servo de la sistemo.
5.VI Piping Kontrolita de La Vacuum Insulated Valve (VIV) Serio: Inkluzivanta Malplenan Izolitan (Pneŭmatikan) Fermigan Valvon, Malplenizolitan Kontrolvalvon, Malplenizolitan Reguligan Valvon ktp. Diversaj specoj de VIV povas esti modulaj kombinitaj por kontroli la VIP kiel postulata. VIV estas integrita kun VIP-prefabrikado en fabrikanto, sen surloka Izolita traktado. La sigelunuo de VIV povas esti anstataŭigita facile. (HL akceptas la kriogenan valvan markon indikitan de klientoj, kaj poste faras vakuizolitajn valvojn de HL. Kelkaj markoj kaj modeloj de valvoj eble ne povas esti transformitaj en vakuizolitajn valvojn.)
6.Cleanliness, se estas pliaj postuloj por interna tubo surfaca pureco. Oni sugestas, ke klientoj elektu BA aŭ EP neoksideblajn ŝtalajn pipojn kiel VIP-internajn pipojn por plue redukti neoksideblajn ŝtalojn.
7.Vacuum Izolita Filtrilo: Purigu la eblajn malpuraĵojn kaj glaciajn restaĵojn el tanko.
8.Post kelkaj tagoj aŭ pli longa ĉesigo aŭ bontenado, estas tre necese antaŭmalvarmigi la VI Piping kaj terminalajn ekipaĵojn antaŭ ol kriogena likvaĵo estas enirita, por eviti glacian skoron post kiam kriogena likvaĵo rekte eniras la VI Piping kaj finajn ekipaĵojn. Antaŭmalvarmiga funkcio devus esti pripensita en dezajno. Ĝi provizas pli bonan protekton por fina ekipaĵo kaj VI Piping-subtena ekipaĵo kiel ekzemple valvoj.
9.Kostumo por kaj Dinamika kaj Statika Malplena Izolita (Fleksibla) Piping-Sistemo.
10.Dynamic Vacuum Insulated (Flexible) Piping System: Konsistas el VI Flekseblaj Hosoj kaj/aŭ VI-Pipo, Jumper Hoses, Vacuum Insulated Valve System, Faza Apartigiloj kaj Dinamika Vacuum Pump System (inkluzive de la vakupumpiloj, solenoidaj valvoj kaj vakuaj mezuriloj ktp. ). La longo de ununura VI Fleksebla Hoso povas esti personecigita laŭ la postuloj de uzanto.
11.Diversaj Konekto Tipoj: Malplena Bajoneta Konekto (VBC) Tipo kaj Veldita Konekto povas esti elektitaj. La VBC-tipo ne bezonas surlokan izolitan traktadon.
