La likvaj nitrogenaj malvarmigaj sistemoj estas vaste uzataj en la industrio de duonkonduktaĵoj kaj ĉifonoj, inkluzive de la procezo de,
- La teknologio de molekula trabo epitaksio (MBE)
- La testo de la blato post koba pakaĵo
Rilataj produktoj
Vakua izolita pipa serio
Vakua izolita fleksebla hosa serio
Dinamika vakua pumpsistemo
Vakua izolita fazo -apartiga serio
Vakua izolita valva serio
Piping System Support Equipment
Molekula trabo Epitaksio
La teknologio de molekula trabo epitaksio (MBE) estis evoluigita en la 1950 -aj jaroj por prepari duonkonduktaĵojn maldikajn filmajn materialojn uzante vakuan vaporiĝan teknologion. Kun la disvolviĝo de ultra-alta vakua teknologio, la apliko de teknologio estis etendita al la kampo de duonkondukta scienco.
HL rimarkis la postulon de MBE -likva nitrogeno -malvarmiga sistemo, organizita teknika dorso por sukcese disvolvi specialan MBE -likvan nitrogenan kootrosistemon por MBE -teknologio kaj kompleta aro de vakuaj izolitaj tubosistemo, kiu estis uzata en multaj entreprenoj, universitatoj kaj esplorinstitutoj .
La komunaj problemoj de la Semikonduktaĵa kaj ĈIP -industrio inkluzivas,
- La premo de likva nitrogeno en fina stacio (MBE) ekipaĵo. Malhelpi premon superŝarĝi de damaĝi terminalan (MBE) ekipaĵon.
- Multoblaj kriogenaj likvaj enirejoj kaj elirejaj kontroloj
- La temperaturo de likva nitrogeno en fina ekipaĵo
- Racia kvanto da kriogenaj gasaj emisioj
- (Aŭtomata) Ŝanĝo de ĉefaj kaj branĉaj linioj
- Prema alĝustigo (reduktante) kaj stabilecon de VIP
- Purigante la eblajn malpuraĵojn kaj glaciajn restaĵojn de tanko
- Plenigante tempon de la fina likva ekipaĵo
- Dukto antaŭkalkulado
- Likva rezisto en VIP -sistemo
- Kontrola perdo de likva nitrogeno dum malkontinua servo de la sistemo
La vakua izolita tubo de HL (VIP) estas konstruita al ASME B31.3 Prema Piping -Kodo kiel normo. Inĝenieristika sperto kaj kvalito-kontrolo-kapablo por certigi la efikecon kaj kostefikecon de la planto de la kliento.
Solvoj
HL -kriogena ekipaĵo provizas al klientoj la vakuan izolitan tuban sistemon por plenumi la postulojn kaj kondiĉojn de la Semikonduktaĵa kaj ĈIP -industrio:
1. Kvalita Administra Sistemo: ASME B31.3 Prema Piping -Kodo.
2. Speciala fazo -apartigilo kun multobla kriogena likva enirejo kaj elirejo kun aŭtomata kontrolfunkcio plenumas la postulon de gaso -emisio, reciklita likva nitrogeno kaj temperaturo de likva nitrogeno.
3.Adekvata kaj ĝustatempa elĉerpa dezajno certigas, ke fina ekipaĵo ĉiam funkcias ene de la projektita prema valoro.
4.La gas-likva baro estas metita en la vertikalan VI-tubon ĉe la fino de VI-dukto. Gas-likva baro uzas la Gas-Sigelan Principon por bloki la varmon de la fino de la VI-dukto en la VI-tubaron, kaj efike redukti la perdon de likva nitrogeno dum malkontinua kaj intermita servo de la sistemo.
5.Vi Piping kontrolita de la vakua izolita valvo (VIV) serio: inkluzive de vakua izolita (pneŭmatika) fermita valvo, vakua izolita ĉeko-valvo, vakua izolita reguliga valvo ktp. bezonata. VIV estas integrita kun VIP-prefabrikado en fabrikanto, sen surloka izolita traktado. La sigelo -unuo de Viv povas esti anstataŭigita facile. (HL akceptas la kriogenan valvan markon nomitan de klientoj, kaj tiam faras vakuajn izolitajn valvojn per HL. Iuj markoj kaj modeloj de valvoj eble ne povas esti faritaj en vakuaj izolitaj valvoj.)
6. Akcelo, se estas pliaj postuloj por interna tuba surfaca pureco. Estas sugestite, ke klientoj elektu BA aŭ EP -neoksideblajn ŝtalajn tubojn kiel VIP -internajn tubojn por plue redukti neoksideblan ŝtalan verŝadon.
7.Vacuum Izolita filtrilo: Purigu la eblajn malpuraĵojn kaj glaciajn restaĵojn de tanko.
8. Post kelkaj tagoj aŭ pli longa halto aŭ bontenado, estas tre necese antaŭkalkuli la Vi -tubajn kaj terminalajn ekipaĵojn antaŭ ol kriogena likvaĵo estas enirita, por eviti glaciajn slagojn post kriogena likvaĵo rekte eniras la Vi -tubaron kaj terminalan ekipaĵon. Antaŭkalkula funkcio devas esti pripensita en dezajno. Ĝi provizas pli bonan protekton por fina stacio kaj VI -tubaj subtenaj ekipaĵoj kiel valvoj.
9.Suit por dinamika kaj statika vakua izolita (fleksebla) tubosistemo.
10. Dynamic -vakua izolita (fleksebla) tubosistemo: konsistas el VI -flekseblaj hosoj kaj/aŭ VI -tubo, jumper -hosoj, vakua izolita valva sistemo, fazaj apartigiloj kaj dinamikaj vakuaj pumpaj sistemoj (inkluzive de la vakuaj pumpiloj, solenoidaj valvoj kaj vakuoj ktp. ). La longo de ununura VI -fleksebla hoso povas esti agordita laŭ la postuloj de uzanto.
11. Varmaj konektaj tipoj: Vakua Bayonet -Konekto (VBC) tipo kaj veldita konekto povas esti elektitaj. La VBC-tipo ne bezonas surloke izolitan traktadon.
