La Ĉipa MBE-Projekto Kompletigita en la Pasintaj Jaroj

Teknologio

Molekula faska epitaksio, aŭ MBE, estas nova tekniko por kreskigi altkvalitajn maldikajn kristalfilmojn sur kristalaj substratoj. En ultra-altaj vakuaj kondiĉoj, la hejtilo ekipita per ĉiaj necesaj komponantoj generas vaporon. Post kolimatado de atomfasko aŭ molekula fasko, tra truoj formitaj, rekta injekto de la atomfasko al la taŭga temperaturo de la unu-kristala substrato estas uzata. Samtempe, kontrolante la molekulan faskon al la substrato, ĝi povas igi la molekulojn aŭ atomojn en kristalaj tavoloj por formi maldikan filmon sur la substrato, kiu "kreskas".

Por la normala funkciado de MBE-ekipaĵo, oni bezonas kontinue kaj stabile transporti altan purecon, malaltan premon kaj ultra-puran likvan nitrogenon al la malvarmiga ĉambro de la ekipaĵo. Ĝenerale, tanko, kiu provizas likvan nitrogenon, havas eliran premon inter 0.3MPa kaj 0.8MPa. Likva nitrogeno je -196℃ facile vaporiĝas en nitrogenon dum duktotransportado. Post kiam la likva nitrogeno kun gaso-likva proporcio de ĉirkaŭ 1:700 estas gasigita en la dukto, ĝi okupos grandan kvanton da fluospaco de likva nitrogeno kaj reduktos la normalan fluon ĉe la fino de la likva nitrogena dukto. Krome, en la stokujo por likva nitrogeno, verŝajne estos nepurigitaj rubaĵoj. En la likva nitrogena dukto, la ĉeesto de malseka aero ankaŭ kondukos al la generado de glaciskorio. Se ĉi tiuj malpuraĵoj estas eligitaj en la ekipaĵon, ili kaŭzos neantaŭvideblan difekton al la ekipaĵo.

Tial, la likva nitrogeno en la ekstera stokujo estas transportata al la MBE-ekipaĵo en la senpolva laborejo kun alta efikeco, stabileco kaj pureco, kaj la malalta premo, sen nitrogeno, sen malpuraĵoj, 24 horojn seninterrompe, tia transporta kontrolsistemo estas kvalifikita produkto.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Kongrua MBE-ekipaĵo

Ekde 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optimumigas kaj plibonigas ĉi tiun sistemon kaj kunlaboras kun internaciaj fabrikantoj de MBE-ekipaĵo. Fabrikistoj de MBE-ekipaĵo, inkluzive de DCA kaj REBER, havas kunlaborajn rilatojn kun nia kompanio. Fabrikistoj de MBE-ekipaĵo, inkluzive de DCA kaj REBER, kunlaboris en granda nombro da projektoj.

Riber SA estas ĉefa tutmonda provizanto de molekulaj faskaj epitaksiaj (MBE) produktoj kaj rilataj servoj por esplorado pri kunmetitaj semikonduktaĵoj kaj industriaj aplikoj. La Riber MBE-aparato povas deponi tre maldikajn tavolojn de materialo sur la substraton, kun tre altaj kontroloj. La vakua ekipaĵo de HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) estas ekipita per Riber SA. La plej granda ekipaĵo estas Riber 6000 kaj la plej malgranda estas Compact 21. Ĝi estas en bona stato kaj estis agnoskita de klientoj.

DCA estas la ĉefa monda oksida nitrogena benzo-ekipaĵo (MBE). Ekde 1993, sistema disvolviĝo de oksidaj teknikoj, antioksida substrata hejtado kaj antioksidaj fontoj estis efektivigita. Pro ĉi tiu kialo, multaj ĉefaj laboratorioj elektis la oksidan teknologion de DCA. Komponitaj duonkonduktaĵaj MBE-sistemoj estas uzataj tra la mondo. La VJ-likva nitrogena cirkuliga sistemo de HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) kaj la MBE-ekipaĵo de pluraj modeloj de DCA havas egalan sperton en multaj projektoj, kiel ekzemple la modeloj P600, R450, SGC800 ktp.

tcm (2)

Tablo de rendimento

Ŝanhaja Instituto de Teknika Fiziko, Ĉina Akademio de Sciencoj
La 11-a Instituto de Ĉinia Elektronika Teknologia Korporacio
Instituto de Semikonduktaĵoj, Ĉina Akademio de Sciencoj
Huawei
Alibaba DAMO Akademio
Powertech Teknologio Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Afiŝtempo: 26-a de majo 2021

Lasu Vian Mesaĝon