Teknologio
Molekula radio epitaksio, aŭ MBE, estas nova tekniko por kultivado de altkvalitaj maldikaj filmoj de kristaloj sur kristalsubstratoj. En ultra-altaj malplenaj kondiĉoj, per la hejtado forno estas ekipita per ĉiaj bezonataj komponantoj kaj generas vaporon, tra truoj formitaj post kolimado de atoma aŭ molekula fasko, rekta injekto al la taŭga temperaturo de la unukristala substrato, kontrolante molekula fasko al. la substrato skananta samtempe, ĝi povas fari la molekuloj aŭ atomoj en kristalo vicigo tavoloj formi maldikan filmon sur substrato "kresko".
Por la normala funkciado de MBE-ekipaĵo, alta pureco, malalta premo kaj ultra-pura likva nitrogeno bezonas esti kontinue kaj stabile transportitaj al la malvarmiga ĉambro de la ekipaĵo. Ĝenerale, tanko kiu provizas likvan nitrogenon havas eligan premon inter 0.3MPa kaj 0.8MPa.Likva nitrogeno ĉe -196℃ estas facile vaporigata en nitrogenon dum dukto transportado. Post kiam la likva nitrogeno kun gas-likva proporcio de ĉirkaŭ 1:700 estas gasigita en la dukto, ĝi okupos grandan kvanton da likva nitrogenflua spaco kaj reduktos la normalan fluon ĉe la fino de la likva nitrogena dukto. Krome, en la likva nitrogentanko, verŝajne estos derompaĵoj, kiuj ne estis purigitaj. En la dukto de likva nitrogeno, la ekzisto de malseka aero ankaŭ kondukos al la generacio de glacia skorio. Se ĉi tiuj malpuraĵoj estas eligitaj en la ekipaĵon, ĝi kaŭzos neantaŭvideblan damaĝon al la ekipaĵo.
Sekve, la likva nitrogeno en la subĉiela stoka tanko estas transportita al la MBE-ekipaĵo en la senpolva laborejo kun alta efikeco, stabileco kaj pura, kaj la malalta premo, sen nitrogeno, sen malpuraĵoj, 24 horoj seninterrompe, tia transportsistemo estas. kvalifikita produkto.
Kongrua MBE-ekipaĵo
Ekde 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optimumigas kaj plibonigas ĉi tiun sistemon kaj kunlaboras kun internaciaj MBE-ekipaĵproduktantoj. MBE-ekipaĵfabrikistoj, inkluzive de DCA, REBER, havas kunlaborajn rilatojn kun nia kompanio. MBE-ekipaĵproduktantoj, inkluzive de DCA kaj REBER, kunlaboris en granda nombro da projektoj.
Riber SA estas ĉefa tutmonda provizanto de molekula radio-epitaksio (MBE) produktoj kaj rilataj servoj por kunmetitaj semikonduktaĵesplorado kaj industriaj aplikoj. La Riber MBE-aparato povas deponi tre maldikajn tavolojn de materialo sur la substrato, kun tre altaj kontroloj. La vakua ekipaĵo de HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) estas ekipita kun Riber SA La plej granda ekipaĵo estas Riber 6000 kaj la plej malgranda estas Compact 21. Ĝi estas en bona stato kaj estis rekonita de klientoj.
DCA estas la ĉefa oksida MBE en la mondo. Ekde 1993, sistema disvolviĝo de oksidiĝaj teknikoj, antioksidanta substrathejtado kaj antioksidantaj fontoj estis efektivigita. Tial, multaj gvidaj laboratorioj elektis DCA-oksidteknologion. Komponitaj semikonduktaĵaj MBE-sistemoj estas uzitaj ĉirkaŭ la mondo. La sistemo de cirkulado de likva nitrogeno VJ de HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) kaj la MBE-ekipaĵo de multoblaj modeloj de DCA havas la kongruan sperton en multaj projektoj, kiel la modelo P600, R450, SGC800 ktp.
Efikeca Tablo
Ŝanhaja Instituto de Teknika Fiziko, Ĉina Akademio de Sciencoj |
La 11-a Instituto de Ĉina Elektronika Teknologia Korporacio |
Instituto de Semikonduktaĵoj, Ĉina Akademio de Sciencoj |
Huawei |
Alibaba DAMO Akademio |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Afiŝtempo: majo-26-2021