Resumo de Molekula Fasko Epitaksio (MBE)
La teknologio de Molecular Beam Epitaxy (MBE) estis evoluigita en la 1950-aj jaroj por prepari duonkonduktajn maldikfilmajn materialojn uzante vakuan vaporiĝteknologion. Kun la evoluo de ultra-alta vakua teknologio, la apliko de teknologio etendiĝis al la kampo de duonkonduktaĵo-scienco.
La instigo de semikonduktaĵmaterialaj esploroj estas la postulo je novaj aparatoj, kiuj povas plibonigi la agadon de la sistemo. Siavice, nova materiala teknologio povas produkti novajn ekipaĵojn kaj novajn teknologiojn. Molekula radio epitaksio (MBE) estas alta vakuoteknologio por epitaksia tavolo (kutime duonkonduktaĵo) kresko. Ĝi uzas la varmofaskon de fontatomoj aŭ molekuloj trafantaj unukristalan substraton. La ultra-altaj vakuokarakterizaĵoj de la procezo permesas en-situan metaligon kaj kreskon de izolaj materialoj sur lastatempe kreskitaj semikonduktaĵsurfacoj, rezultigante poluajn interfacojn.
MBE Teknologio
La molekula radio epitaksio estis efektivigita en alta vakuo aŭ ultra-alta vakuo (1 x 10-8Pa) medio. La plej grava aspekto de molekula trabo epitaksio estas sia malalta demetofteco, kiu kutime permesas al la filmo al epitaksial kreski kun rapideco de malpli ol 3000 Nm je horo. Tia malalta demetofteco postulas sufiĉe altan vakuon por atingi la saman nivelon de pureco kiel aliaj demetmetodoj.
Por renkonti la super-altan vakuon priskribitan supre, la MBE-aparato (Knudsen-ĉelo) havas malvarmigan tavolon, kaj la ultra-alta vakuo medio de la kreskĉambro devas esti konservita per likva nitrogena cirkuladsistemo. Likva nitrogeno malvarmigas la internan temperaturon de la aparato al 77 Kelvin (−196 °C). La malalta temperaturo medio povas plu redukti la enhavon de malpuraĵoj en vakuo kaj disponigi pli bonajn kondiĉojn por la deponado de maldikaj filmoj. Tial, dediĉita likva nitrogeno malvarmiga cirkuladsistemo estas postulata por la MBE-ekipaĵo por disponigi kontinuan kaj stabilan provizon de -196 °C likva nitrogeno.
Likva Nitrogeno Malvarmiga Cirkulada Sistemo
Malplena likva nitrogeno malvarmiga cirkulada sistemo ĉefe inkluzivas,
● kriogena tanko
● ĉefa kaj branĉo vakuo jacketed pipo / vakuo jacketed hoso
● MBE speciala fazo apartigilo kaj vakua jacketed ellastubo
● diversaj vakuaj jakitaj valvoj
● gas-likva baro
● vakua jaketita filtrilo
● dinamika vakupumpila sistemo
● Antaŭmalvarmigo kaj puriga rehejta sistemo
HL Cryogenic Equipment Company rimarkis la postulon de MBE-likva nitrogena malvarmiga sistemo, organizita teknika spino por sukcese evoluigi specialan MBE-likvan nitrogenan kuigan sistemon por MBE-teknologio kaj kompletan aron de malplena izolado.edtubsistemo, kiu estis uzata en multaj entreprenoj, universitatoj kaj esplorinstitutoj.
HL Kriogena Ekipaĵo
HL Cryogenic Equipment kiu estis fondita en 1992 estas marko filiigita al Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company en Ĉinio. HL Cryogenic Equipment kompromitas al la dezajno kaj fabrikado de la Alta Malplena Kriogena Piping-Sistemo kaj rilata Subtena Ekipaĵo.
Por pliaj informoj, bonvolu viziti la oficialan retejonwww.hlcryo.com, aŭ retpoŝtu alinfo@cdholy.com.
Afiŝtempo: majo-06-2021
