Mallongigo de molekula trabo Epitaksio (MBE)
La teknologio de molekula trabo epitaksio (MBE) estis evoluigita en la 1950 -aj jaroj por prepari duonkonduktaĵojn maldikajn filmajn materialojn uzante vakuan vaporiĝan teknologion. Kun la disvolviĝo de ultra-alta vakua teknologio, la apliko de teknologio estis etendita al la kampo de duonkondukta scienco.
La instigo de esplorado pri duonkonduktaĵoj estas la postulo je novaj aparatoj, kio eble plibonigos la agadon de la sistemo. Siavice, nova materiala teknologio eble produktos novan ekipaĵon kaj novan teknologion. Epitaksio de molekula trabo (MBE) estas alta vakua teknologio por epitaksia tavolo (kutime semikonduktaĵa) kresko. Ĝi uzas la varmegon de fontaj atomoj aŭ molekuloj influantaj ununuran kristalan substraton. La ultra-altaj vakuaj trajtoj de la procezo permesas en-situan metaligon kaj kreskon de izolaj materialoj sur ĵus kreskitaj duonkonduktaĵaj surfacoj, rezultigante poluajn interfacojn.


MBE -Teknologio
La epitaksio de molekula trabo estis farita en alta vakuo aŭ ultra-alta vakuo (1 x 10-8Pa) medio. La plej grava aspekto de molekula trabo epitaksio estas ĝia malalta depona indico, kiu kutime permesas al la filmo epitaksion kreski kun rapideco de malpli ol 3000 nm hore. Tia malalta depona indico postulas sufiĉe altan vakuon por atingi la saman nivelon de pureco kiel aliaj deponaj metodoj.
Por plenumi la ultra-altan vakuon priskribitan supre, la MBE-aparato (Knudsen-ĉelo) havas malvarmigan tavolon, kaj la ultra-alta vakua medio de la kreska ĉambro devas esti konservita uzante likvan nitrogenan cirkulan sistemon. Likva nitrogeno malvarmigas la internan temperaturon de la aparato al 77 Kelvino (−196 ° C). La malalta temperaturmedio povas plue redukti la enhavon de malpuraĵoj en vakuo kaj provizi pli bonajn kondiĉojn por la deponejo de maldikaj filmoj. Tial, dediĉita likva nitrogen -malvarmiga cirkulada sistemo estas bezonata por la MBE -ekipaĵo por provizi kontinuan kaj konstantan provizon de -196 ° C likva nitrogeno.
Likva nitrogen -malvarmiga cirkulada sistemo
Vakua likva nitrogen -malvarmiga cirkulada sistemo ĉefe inkluzivas,
● Kriogena tanko
● Ĉefa kaj branĉa vakua tubo / vakua ŝakita hoso
● MBE Speciala Fazo -Apartigilo kaj Vakua Jakita Elĉerpa Pipo
● Diversaj vakuaj jakitaj valvoj
● Gas-likva baro
● Vakua kovrita filtrilo
● Dinamika vakua pumpsistemo
● Antaŭkalkulado kaj purigado de rehejtiga sistemo
HL -Kriogena Ekipaĵa Kompanio rimarkis la postulon de MBE -likva nitrogen -malvarmiga sistemo, organizita teknika dorso por sukcese disvolvi specialan MBE -likvan nitrogenan kootrosistemon por MBE -teknologio kaj kompleta aro de vakua insulatoedPiping -sistemo, uzata en multaj entreprenoj, universitatoj kaj esplorinstitutoj.


Hl kriogena ekipaĵo
HL -kriogena ekipaĵo, kiu estis fondita en 1992, estas marko filiigita al la kompanio pri sankta kriogena ekipaĵo de Chengdu en Ĉinio. HL -kriogena ekipaĵo kompromitas al la projektado kaj fabrikado de la alta vakua izolita kriogena tubosistemo kaj rilataj subtenaj ekipaĵoj.
Por pliaj informoj, bonvolu viziti la oficialan retejonwww.hlcryo.com, aŭ retpoŝti alinfo@cdholy.com.
Afiŝotempo: majo-06-2021