Resumo pri Molekula Radio-Epitaksio (MBE)
La teknologio de Molekula Fasko-Epitaksio (MBE) estis evoluigita en la 1950-aj jaroj por prepari duonkonduktaĵajn maldikajn filmmaterialojn uzante vakuan vaporiĝteknologion. Kun la evoluo de ultra-alta vakua teknologio, la apliko de teknologio estis etendita al la kampo de duonkonduktaĵa scienco.
La motivo de esplorado pri duonkonduktaĵaj materialoj estas la postulo je novaj aparatoj, kiuj povus plibonigi la funkciadon de la sistemo. Siavice, nova materialteknologio povus produkti novajn ekipaĵojn kaj novan teknologion. Molekula faska epitaksio (MBE) estas altvakua teknologio por epitaksia tavolo (kutime duonkonduktaĵa) kresko. Ĝi uzas la varmofaskon de fontatomoj aŭ molekuloj, kiuj efikas sur unu-kristalan substraton. La ultra-altaj vakuaj karakterizaĵoj de la procezo permesas surlokan metaligon kaj kreskon de izolaj materialoj sur nove kreskigitaj duonkonduktaĵaj surfacoj, rezultante en senpoluaj interfacoj.
MBE-Teknologio
La molekula faska epitaksio estis efektivigita en alta vakuo aŭ ultraalta vakuo (1 x 10-8Pa) medio. La plej grava aspekto de molekula faska epitaksio estas ĝia malalta depozicia rapideco, kiu kutime permesas al la filmo epitaksie kreski je rapideco malpli ol 3000 nm hore. Tia malalta depozicia rapideco postulas sufiĉe altan vakuon por atingi la saman nivelon de pureco kiel aliaj depoziciaj metodoj.
Por plenumi la supre priskribitan ultra-altan vakuon, la MBE-aparato (Knudsen-ĉelo) havas malvarmigan tavolon, kaj la ultra-alta vakua medio de la kreskokamero devas esti konservata per likva nitrogena cirkuladsistemo. Likva nitrogeno malvarmigas la internan temperaturon de la aparato ĝis 77 Kelvinoj (−196 °C). La malalta temperatura medio povas plue redukti la enhavon de malpuraĵoj en la vakuo kaj provizi pli bonajn kondiĉojn por la deponado de maldikaj filmoj. Tial, dediĉita likva nitrogena malvarmiga cirkuladsistemo estas necesa por ke la MBE-ekipaĵo provizu kontinuan kaj stabilan provizon de -196 °C likva nitrogeno.
Likva nitrogena malvarmiga cirkulada sistemo
Vakua likva nitrogena malvarmiga cirkulada sistemo ĉefe inkluzivas,
● kriogena tanko
● ĉefa kaj branĉa vakue jakumita tubo / vakue jakumita hoso
● MBE speciala fazapartigilo kaj vakue jakumita ellasilo
● diversaj vakue jakumitaj valvoj
● gaso-likva bariero
● vakue kovrita filtrilo
● dinamika vakuopumpila sistemo
● Antaŭmalvarmiga kaj elpuriga revarmiga sistemo
HL Cryogenic Equipment Company rimarkis la postulon pri la MBE-likva nitrogena malvarmiga sistemo, organizis teknikan bazon por sukcese disvolvi specialan MBE-likva nitrogena malvarmiga sistemo por MBE-teknologio kaj kompletan aron de vakuaj izolaĵoj.edtubarsistemo, kiu estis uzata en multaj entreprenoj, universitatoj kaj esplorinstitutoj.
HL Kriogena Ekipaĵo
HL Cryogenic Equipment, fondita en 1992, estas marko aligita al la kompanio Chengdu Holy Cryogenic Equipment en Ĉinio. HL Cryogenic Equipment dediĉas sin al la projektado kaj fabrikado de altvakue izolitaj kriogenaj tubaroj kaj rilataj subtenaj ekipaĵoj.
Por pliaj informoj, bonvolu viziti la oficialan retejonwww.hlcryo.com, aŭ retpoŝtu alinfo@cdholy.com.
Afiŝtempo: 6-a de majo 2021
